전자 진공 펌프가 일반적으로 작동하는 방법은 다음과 같습니다.
전자 빔 펌핑 :
1. 전자 총 :전자 건은 고 에너지 전자의 집중 빔을 생성합니다.
2. 진공 챔버 :전자 빔은 대피 해야하는 가스 또는 증기를 함유하는 진공 챔버로 향합니다.
3. 충돌 :전자 빔이 가스 입자와 상호 작용함에 따라 운동 에너지를 전달하여 빠르게 움직이고 서로 충돌합니다.
4. 이온화 :충돌을 통해 일부 가스 입자는 이온화되어 전자를 잃고 긍정적으로 하전 된 이온을 생성 할 수 있습니다.
5. 추출 :이 이온은 진공 챔버 내의 음으로 하전 된 전극 또는 표면으로 끌어와 가스에서 멀어져 시스템에서 효과적으로 제거됩니다.
이온 트랩 펌핑 :
1. 이온 소스 :전자 빔 또는 혈장 인 이온 소스는 진공 챔버 내부에서 이온을 생성합니다.
2. 전자기장 :진공 펌프는 전자기장 (종종 4 중 분해 질량 분석기)을 사용하여 특정 영역 내에서 생성 된 이온을 포획하고 제한합니다.
3. 선택적 제거 :펌프는 전자기장을 조정하거나 전압을 적용하여 특정 가스 종 또는 이온을 선택적으로 제거 할 수 있습니다. 이를 통해 가스의 선택적 필터링 및 정제가 가능합니다.
4. 펌핑 행동 :이온이 트랩에 제한되어 축적되면 진공 챔버 내부의 가스 압력이 감소하여 진공이 높아집니다.
전자 진공 펌프는 깨끗하고 오일이 없으며 종종 고품질 진공이 필요한 다양한 과학, 산업 및 연구 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 이들은 기존의 진공 펌프가 오염 물질을 도입하고 원하는 수준의 진공을 방해 할 수있는 초고 진공 청소기 (UHV) 시스템에서 특히 유리합니다.
전자 진공 펌프는 다음과 같은 몇 가지 이점을 제공합니다.
1. 청소 및 유가없는 작동 :윤활제 나 밀봉 재료가 필요하지 않으므로 진공 시스템의 오일 배송 또는 오염 위험이 제거됩니다.
2. 조용한 작전 :전자 진공 펌프는 부품이 움직이지 않거나 과도한 진동을 생성하지 않기 때문에 일반적으로 기계식 펌프보다 훨씬 조용합니다.
3. 작고 가벼운 :전자 진공 펌프는 종종 전통적인 기계식 펌프에 비해 더 작고 가벼워서 공간 제한된 응용 분야에 적합합니다.
4. 제어 가능성 :펌핑 공정 및 진공 수준에 대한 정확한 제어 기능을 제공하여 맞춤형 진공 조건을 허용합니다.
그러나 전자 진공 펌프는 더 비싸고 유지 보수 및 운영을위한 전문 지식이 필요하다는 점은 주목할 가치가 있습니다. 또한 기계식 펌프에 비해 펌핑 속도가 낮은 경향이 있습니다.
요약하면, 전자 진공 펌프는 전자 빔 또는 이온 트랩과 같은 전자 수단을 이용하여 챔버에서 가스 입자 또는 이온을 선택적으로 제거하여 다양한 과학 및 산업에 대한 깨끗하고 오일이 없으며 제어 된 진공 조건을 제공함으로써 진공을 만듭니다. 응용 프로그램.
